半导体制造行业RFID解决方案
半导体制造行业信息化需求:
随着我国半导体产业近几年的迅速发展以及国家政策的大力支持,半导体产品国产替代化进程逐步加快,取得了不错的发展成就。半导体制造业是一个典型的技术密集型的科技制造行业,其生产工艺的复杂性和精确性,要求半导体制造业对生产过程需要实施更加精细化的管理,所以建立一个完整的MES系统,是企业发展的必要条件。
半导体制造企业在车间生产制造过程中面临生产过程不透明、现场信息反馈不及时、设备运行状态监控难等诸多痛点,大多数企业渴望通过智能化升级加强对生产过程的管理。
安奈特RFID+解决方案:
以符合半导体行业标准的低频工业RFID识别产品为信息载体,帮助半导体Loadpord设备(EFME模块设备),天车,FOUP存储货架等信息化提供一整套应用解决方案。
1 半导体行业中loadpord设备(即EFEM模块设备)RFID应用场景:
半导体行业的12寸晶圆盒的生产,均采用自动化天车的搬运,为了快速实现晶圆盒的搬运准确性,以及追踪工序进度。半导体车间的FOUP上会植入一枚TI载码体,在Loadpord设备上安装一台符合支持标准工业半导体 HSMS(或者Modbus TCP)、标准工业半导体 SECS(或者Modbus RTU)、还支持 1 和 N 协议的分体式低频读卡器,用于识别FOUP上的TI载码体。
2 半导体行业中天车设备RFID应用场景:
鉴于12寸晶圆盒非人力所能搬动,需要自动化天车设备搬运12寸晶圆盒,天车的运动轨迹需要半导体内部车间的MES系统(天车调度系统)控制,故需要实时调度天车和天车的有效路径,需要在天车安装一台分体式低频读卡器,用于识别FOUP上的TI载码体,后台管理系统可快速调度天车的下一步工序路径。
3 半导体FOUP存储货架的RFID应用场景:
半导体晶圆盒内部的产品信息会与内嵌的TI载码体在后台系统实时关联,FOUP存放在仓库货架时,货架安装低频多通道读写器,将实时监控到每个货架上存储的FOUP的信息,以及仓库中FOUP的数量等信息上传到后台MES管理系统,可快速知晓整个半导体仓储货架的库存情况。
安装与应用示意图:
使用安奈特低频读卡器与TI载码体: